孙智慧, 肖玮, 林晶, 智慧, 张莉, 董文丽, 朱琳
. 2013, (23): 72-76.
为避免卷绕式磁控溅射镀膜过程中张力引起的薄膜缺陷,以及原有张力系统响应速度慢、稳定性差等不足,对张力系统进行了分析与优化。通过分析确定了影响张力的关键因素是收(放) 卷的速度和卷径变化,建立了张力系统动力学模型,采用simulink 对张力控制系统进行仿真分析,利用实验验证的方法,分别在原设备和改造后的设备上制备Al2 O3 薄膜,并对比其SEM 图像。改造后的系统可在0. 65 s 内实现薄膜张力实时调整,而原系统需要8 s。改造后的系统能够保证镀制过程中的张力恒定,膜层致密均匀、卷材层间无空隙和皱纹。