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硅氧共掺DLC薄膜的制备及阻隔性能研究
印莲华, 刘忠伟
Preparation and Barrier Properties of Silicon and Oxygen Co-doped DLC Films
YIN Lianhua, LIU Zhongwei
. 2024, (
19
): 171 -178 . DOI: 10.19554/j.cnki.1001-3563.2024.19.017
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